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太阳能光伏
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太阳能光伏
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HJT异质结高效电池制造整体解决方案
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HJT异质结NBB技术及串焊设备
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异质结NBB无主栅技术
异质结NBB组件串焊设备
太阳能电池丝网印刷整线设备
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太阳能电池激光设备
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高速激光开槽设备
高速离线激光辅助选择性扩散设备
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OLED柔性屏激光切割设备
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Mini/Micro LED设备系列
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Micro LED激光剥离设备
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Mini LED 整线工艺解决方案
半导体
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MX-SSD Wafer Handling激光改质切割设备
+
MX-SLG 半导体晶圆激光开槽设备
+
MX-SSG 8英寸半导体晶圆研磨设备
+
MX-SSD Frame Handing激光改质切割设备
+
MX-SSG 碳化硅研磨设备
+
MX-SSG 半导体晶圆研抛一体设备
+
MX-SDC 300mm半导体晶圆刀轮切割设备
+
客户服务
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高速离线激光辅助选择性扩散设备
全自动太阳能电池片双轨激光辅助选择性扩散(SE)设备采用进口激光器、高速振镜系统、多组CCD视觉系统以及现有的转台技术来实现电池片的性能改善,并保证电池片的同进同出,装配到线上后不影响整线CT。
设备优势
01
高速DD转台4工位协调加工,提升整线CT,转台4台面平面度30μm以内,为工艺的稳定性提供保障
02
高速振镜扫描,振镜扫描速度≥60m/s,精度可达±15μm,采用数字控制模式,大幅提高激光打标效率
03
工艺图形兼容性(线、线段、点)
04
光斑大小(开窗尺寸)90 ~ 130μm可调,圆形/方形可选
05
激光器波长532nm,功率25~60W(可选),功率稳定性≤2%RMS,频率调整范围:50至500 KHz ,脉宽3~50ns可选调节
06
双轨独立控制同时,可选2头激光器和4头激光器,实现更高产能
设备展示
基本信息
1.
设备尺寸:5000mm x 2500mm x 2260mm
2.
电池片尺寸:156mm x 156mm ~ 230mm x 230mm,厚度140~220μm
3.
四头激光器产能:M10≥9500PCS/H;M12 ≥8000PCS/H(同时兼容230mm片源,可选择产能更高的四头激光器)
4.
碎片率≤0.05%(来料隐裂除外)
5.
Uptime≥95%
6.
激光波长:532nm
7.
激光频率>500Khz
8.
激光功率:25W~60W
9.
功率稳定性 ≤ 2% RMS
10.
激光器寿命≥50000小时
11.
扫描方式:振镜扫描
12.
光斑大小:90 ~ 130μm(圆形/方形可选,大小可选)
13.
扫描速度≥50m/s
14.
图形打标精度≤±15μm(基于M12片源)
15.
上料破片检测:1200万像素(常规),可检测崩边、缺角
16.
图形兼容:兼容plt, dxf, dwg图形格式(兼容点、线、线段)
17.
除尘及过滤效率:除尘≥95%,过滤≥99%(独立除尘设备,排风量最高达2000m3/h)
18.
19.
20.
21.
22.
23.
24.
25.
26.
27.
28.
29.
30.